文献类型：期刊文章

作　　者：杨帆[1] 沈军[1] 周斌[1] 吴广明[1] 罗爱云[1] 孙骐[1] J.Mugnier[2]

机构地区：[1]同济大学波耳固体物理研究所,上海200092 [2]法国里昂第一大学物理系发光材料物理与化学实验室,法国里昂69622

出　　处：《原子能科学技术》

基　　金：国家自然科学基金重点基金资助项目(20133040;69978017);国家"863"计划资助课题(2002AA842052);上海市重点学科建设项目资助课题;上海市科委中法合作项目(02SL001);教育部跨世纪优秀人才资助计划资助课题

年　　份：2005

卷　　号：39

期　　号：6

起止页码：507-512

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2006079701467)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用溶胶-凝胶技术,使用旋涂方法在K9玻璃和单晶硅片上制备各种光学薄膜,并用紫外光源作为高能光子源辐照溶胶-凝胶光学薄膜。使用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、椭偏仪、铅笔硬度仪等测量和分析薄膜的特性。用输出波长1 064 nm、脉宽15 ns电光调Q激光系统测试薄膜的激光损伤阈值。结果表明,紫外光辐照可提高薄膜折射率和机械性能。采用紫外预处理还能将节瘤缺陷转换成孔洞缺陷,从而有效提高薄膜的激光损伤阈值,其中,单层ZrO2薄膜的激光损伤阈值达到50.6 J/cm2(1 064 nm,1 ns)。与当前流行的激光预处理技术相比,紫外预处理的设备简单、易于操作。溶胶-凝胶多层膜经紫外光处理后,有效提高了多层膜膜层的均匀性。

关 键 词：溶胶-凝胶工艺 紫外光处理  机械性能 激光损伤阈值 有机粘接剂  

分 类 号：TN204] TN304.05