期刊文章详细信息
脉冲多弧离子镀研究
Studies on the pulsed poly-arc-ion source and the deposition technique
文献类型：期刊文章
Hang Lingxia;Yan Yixin;Zhu Chang
机构地区：[1]西安工业学院仪器工程系
年 份：1996
卷 号：16
期 号：2
起止页码：110-113
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍一种新型镀膜方法的工作原理及相关参数,介绍了采用这种新型镀膜方法镀制的类金刚石膜层的性能.
关 键 词：离子镀 类金刚膜 多弧离子膜 镀膜 真空电弧
分 类 号：TB43]
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