文献类型：期刊文章

作　　者：张敏[1] 程发良[1] 姚海军[1]

机构地区：[1]东莞理工学院生物传感器研究中心,广东东莞523106

出　　处：《表面技术》

基　　金：国家自然科学基金(20375008;20475001);广东省自然科学基金(32167);广东省科技攻关项目(2004B33301024);广东省教育厅自然科学研究项目(Z03091)资助项目

年　　份：2006

卷　　号：35

期　　号：2

起止页码：4-6

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：介绍了类金刚石膜的性能、制备方法以及应用。类金刚石膜(DLC)是由sp3键组态的碳和sp2键组态的碳混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相似的性能———优异的光学特性、机械特性、电学特性和化学特性,同时现行制备方法(化学气相沉积,物理气相沉积等)相对容易实现,并且其产品已经应用到光学、医学、机械、电子等多个领域,因此引起人们极大兴趣。

关 键 词：类金刚石膜(DLC)  杂化轨道 性质  应用  制备  沉积  

分 类 号：O484.4] TG174.444[物理学类]