文献类型：期刊文章

作　　者：韦其红[1] 赵振华[2] 付兴华[1] 侯文萍[1]

机构地区：[1]济南大学材料科学与工程学院,250022 [2]济南市城建材料开发服务中心,250032

出　　处：《陶瓷学报》

年　　份：2006

卷　　号：27

期　　号：1

起止页码：92-96

语　　种：中文

收录情况：CAS、JST、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：用醋酸盐和钛酸酯为原料,采用Sol-Gel工艺在Pt/TiO2/SiO2/Si基片上制备出Ba0.5Sr0.5TiO(3BST)铁电薄膜,然后在650-800℃下对BST薄膜进行退火,研究退火温度对钛酸锶钡铁电薄膜的影响。X射线衍射分析表明:退火温度在750℃以上时,BST薄膜转变成较为完整的ABO3型钙钛矿结构;SEM分析表明:750℃热处理的薄膜颗粒较大,且颗粒生长较好;阻抗分析仪测试表明:750℃退火处理的薄膜介电性能最佳;TEM分析表明:750℃晶粒发育完善、清晰,晶粒与晶粒之间比较紧密,且存在微畴区域。

关 键 词：BST 退火 X射线衍射 介频谱  

分 类 号：TQ174.758]