期刊文章详细信息
Ti-Si-N纳米超硬膜的研究进展
Development of Superhard Ti-Si-N Nanocomposite Coating
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海交通大学先进热处理与表面改性工程技术研究中心,上海200240 [2]北京航空航天大学机械设计与自动化学院材料加工与控制系,北京100083
基 金：国家自然科学基金资助项目(50271004);上海市纳米专项基金资助项目(0359nm005)
年 份：2006
期 号：8
起止页码：5-8
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：随着现代工业对材料表面涂层的要求不断提高,Ti-Si-N膜以其独特的纳米复合结构、超硬性及其他优异的力学性能成为研究的热点。本文综述了Ti-Si-N纳米复合膜的制备工艺以及工艺参数对Ti-Si-N膜的微观结构与力学性能的影响。
关 键 词：Ti-Si-N膜 纳米复合膜 微观结构 纳米硬度 工艺参数
分 类 号：TB33[材料类]
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