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镀膜玻璃的膜系特性及生产工艺控制
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国耀华镀膜玻璃厂,066004 [2]佳木斯工农玻璃厂,154001
年 份：1996
卷 号：23
期 号：6
起止页码：37-42
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：介绍了金属膜、介质膜对光透射、反射及吸收的机理,并对常用的金属膜化合物膜的性能加以说明,对制备化合物膜的工艺及工艺参数对膜质量的关系作了定性的分析,结合生产实际阐述了靶功率、反应气体的分压强、膜厚的控制、通气的方式与膜系与膜质量的关系。
关 键 词：镀膜玻璃 金属膜 工艺参数 玻璃
分 类 号：TQ171.724]
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