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绝缘金属铝基板的制备及介电性能研究
Research on Preparation and Dielectric Properties of Insulating Metallic Al Substrates
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北大先行泰安科技产业有限公司,泰安271000 [2]南京航空航天大学材料学院,南京210016
基 金：南京航空航天大学科研启动基金资助(S0466-061)
年 份：2006
卷 号：29
期 号：6
起止页码：3-6
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：采用阳极氧化的方法分别在浓度2%和4%的草酸体系下对金属铝基板表面进行了绝缘化处理。通过SEM对绝缘膜层进行了研究分析,并测试了膜层的介电性能。结果表明:浓度4%的草酸体系下得到的绝缘膜表面存在直径80nm左右的针状物,它可能是膜表面形成的Al(OH)3水合物。较大浓度的草酸电解液的溶解作用加剧了膜层断面开裂、膜质疏松等缺陷,严重影响着膜层的介电性能。
关 键 词：铝基板 草酸 阳极氧化 介电性能
分 类 号：TN405]
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