文献类型：期刊文章

作　　者：张会平[1] 江中浩[1] 刘先黎[1] 连建设[1] 侯旭峰[2] 李光玉[1]

机构地区：[1]吉林大学汽车材料教育部重点实验室,长春130022 [2]吉林北方彩晶数码电子有限公司,长春130033

出　　处：《吉林大学学报（工学版）》

基　　金：'973'国家重点基础研究发展计划项目(2004CB619301);吉林大学'985'工程资助项目;吉林大学创新基金资助项目(419170200014)

年　　份：2007

卷　　号：37

期　　号：1

起止页码：11-16

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2004、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI(收录号：20071310516356)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用化学镀铜工艺，以十二烷基苯磺酸钠（SDBS）作为镀液添加剂，在未经刻蚀的玻璃表面制备了纳米铜膜。采用FESEM、SEM和XRD等技术对铜膜表面、断面形貌及晶体结构进行了表征。结果表明，铜膜内团簇尺寸非常细小，晶粒尺寸约为15．5～28．3nm，且存在较强的〈111〉织构。采用四探针法测量铜膜的电阻率，并讨论了电阻率随沉积时间增加而逐渐下降的原因。

关 键 词：材料表面与界面 化学镀 纳米铜膜  电阻率 玻璃基体  

分 类 号：TG174.4]