文献类型：期刊文章

作　　者：王其美[1]

机构地区：[1]南京江南光学仪器厂

出　　处：《电子显微学报》

年　　份：1990

卷　　号：9

期　　号：3

起止页码：256-256

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、RCCSE、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：一、DXS-3扫描电镜是我国首次自行设计研制的电脑控制的高性能扫描电镜。该产品涉及精良的电子光学系统,高稳定度的高压和透镜电源,电脑控制,多功能扫描显示线路,高真空技术及自动控制系统,微米级精密机械,高灵敏度信号探测系统,低噪声宽频带信号放大和处理系统,字符显示,照相记录等技术。二、在研制DXS-3扫描电镜时首先考虑用户普遍关心和迫切需要解决的课题,即仪器技术先进性,性能稳定性和使用方便性。我们采用了计算机辅助设计的方法设计电子光学系统。采用了模块式电脑控制结构控制电气系统。在总体设计中做了适当安排,可派生出不同用户需要的系列产品。

关 键 词：DXS-3型  扫描电镜 微机控制

分 类 号：TN16]