文献类型：期刊文章

作　　者：龚树萍[1] 邱原[1,2] 周东祥[1]

机构地区：[1]华中科技大学电子科学与技术系 [2]三星半导体(中国)研究开发有限公司,江苏苏州215021

出　　处：《电子元件与材料》

基　　金：国家"863"计划资助项目(2004AA32G090);武汉市科技攻关计划资助项目(20041003068)

年　　份：2007

卷　　号：26

期　　号：11

起止页码：4-7

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：以SnCl2·2H2O、CuCl2·2H2O、SbCl3和无水乙醇为原料,采用sol-gel浸渍提拉法(sol-geldip-coatingmethod,SGDC)制备了纳米晶气敏薄膜。在多个工作温度和气体浓度下测试了薄膜对H2S的气敏特性。结果表明:r(Cu:Sb:Sn)为1:5:100,工作温度为140℃时,薄膜对H2S有很好的灵敏度和选择性,敏感浓度下限可达0.7×10–6。

关 键 词：电子技术  sol—gel法  SNO2纳米晶 薄膜  气敏传感器

分 类 号：TN304.92]