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薄层电阻测试Mapping技术 ( EI收录)
Mapping Technigue for Measurement of Sheet Resistance Distribution
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河北工业大学电气工程系,天津300130
出 处：《Journal of Semiconductors》
基 金：国家自然科学基金!69272001;天津市重大成果
年 份：1997
卷 号：18
期 号：9
起止页码：701-705
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX1996、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EBSCO、EI、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：利用改进的范德堡法微区薄层电阻测试探针技术对n-Si片上的硼扩散图形进行薄层电阻的测量，并用发度表示其分布，可得到薄层电阻的不均匀度及平均值．这种所谓Mapping技术更有利于评价材料质量．
关 键 词：薄层电阻测试 集成电路 Mapping技术
分 类 号：TN407]
参考文献：
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