文献类型：期刊文章

作　　者：王佩怡[1] 杨春[1] 李来才[2] 李言荣[3]

机构地区：[1]四川师范大学计算机软件实验室 [2]四川师范大学化学与材料科学学院,成都610068 [3]电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室

出　　处：《物理学报》

基　　金：国防预研基金(批准号:51310Z03,61363);四川省青年科技基金(批准号:07ZQ026-021)资助的课题~~

年　　份：2008

卷　　号：57

期　　号：4

起止页码：2340-2346

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20081911245342)、INSPEC、JST、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000255087200055)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：在激光分子束外延(LMBE)生长SrTiO3(STO)薄膜过程中,激光闪蒸出的Sr,Ti,O原子的微观反应过程及粒子形态是STO薄膜生长初期形成的关键.采用密度泛函理论中的广义梯度近似(DFT/GGA)方法,在PW91/DNP水平上研究了Sr,Ti,O原子在真空中的优先反应过程和形态,计算研究了SrO,TiO2和STO分子形成的反应机理,获得了相应的中间体和过渡态及反应活化能,并运用前线轨道理论分析了STO分子的形成机理.对比计算了STO分子可能的几何构型,得到了比较稳定的构型,其几何特征与STO单胞部分相似.计算研究表明,SrO,TiO2,STO分子是LMBE外延生长STO薄膜初期的主要粒子形态.

关 键 词：SRTIO3薄膜 反应机理 活化能

分 类 号：O484.1]