文献类型：期刊文章

作　　者：林永清[1] 巩春志[1] 魏永强[1] 田修波[1] 杨士勤[1] 关秉羽[2] 于传跃[3]

机构地区：[1]哈尔滨工业大学材料学院现代焊接生产技术国家重点实验室,哈尔滨150001 [2]沈阳北宇真空设备厂,沈阳110045 [3]哈尔滨第一工具有限公司,哈尔滨150020

出　　处：《材料研究学报》

基　　金：国家自然科学基金10575025资助项目~~

年　　份：2008

卷　　号：22

期　　号：4

起止页码：399-404

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2004、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20084011622961)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用矩形平面大弧源离子镀技术在201奥氏体不锈钢基体表面制备TiN硬质薄膜,研究了脉冲偏压对TiN膜层的表面形貌、相结构、硬度和耐磨性能的影响.结果表明,随着脉冲偏压的增大,薄膜中大颗粒的数目先增加后减少,这是大颗粒受到离子拖曳力和电场力双重作用的结果.存在一个最佳的脉冲偏压,使得制备出的TiN膜层具有较高的I_(111)/I_(200)比例和较高的耐磨性.脉冲偏压为-300 V时制备的TiN膜层具有最好的综合性能.

关 键 词：无机非金属材料 离子镀 矩形靶  脉冲偏压 氮化钛 耐磨性

分 类 号：TB321[材料类]