期刊文章详细信息
300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计
Control System Design for Wafer Transmitter of 300mm Ion Implanter
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京中科信电子装备有限公司,北京101111
年 份：2010
卷 号：39
期 号：5
起止页码：26-29
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。
关 键 词：晶圆传送系统 自动控制 机械手 TURBO PMAC 有限状态机
分 类 号：TN305.3]
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