期刊文章详细信息
真空变温薄膜电阻测试仪器的设计与应用
New instrument for measuring thin film resistance with varying temperature in vacuum
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京交通大学理学院物理实验中心,北京100044
年 份：2011
卷 号：31
期 号：1
起止页码：28-30
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2008、核心刊
摘 要：设计了自制真空变温薄膜电阻测试仪器,可以实现粗真空条件下,从室温到300℃的四探针法薄膜电阻测试.该仪器适用于开展薄膜物性与电阻和温度相关的实验,例如,金属与半导体薄膜的温度-电阻特性实验,二氧化钒薄膜热滞效应实验等.
关 键 词：真空 变温 薄膜电阻
分 类 号：O484.42]
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