期刊文章详细信息
溅射靶的开发与应用
Development and Application of the Sputtering Target
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]营口高等职业专科学校,辽宁营口115000 [2]东北大学,辽宁沈阳110006 [3]沈阳科学仪器研制中心,辽宁沈阳110003
年 份：2000
卷 号：37
期 号：1
起止页码：37-39
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1996、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：本文就溅射靶的分类、选用靶材的原则及常用几种靶的制备等问题进行了探讨。
关 键 词：溅射镀膜 制靶技术 靶材 溅射靶
分 类 号：TB43]
参考文献：
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