文献类型：期刊文章

作　　者：刘金虎[1,2] 徐征[1] 赵谡玲[1] 刘志平[1,2] 李栋才[1,2]

机构地区：[1]北京交通大学太阳能研究所,北京100044 [2]北京中联科伟达技术股份有限公司,北京100044

出　　处：《太阳能学报》

基　　金：国家自然科学基金(60978060;10974013);北京市科委(Z090803044009001);教育部博士点基金(20090009110027;20070004024);博士点新教师基金(20070004031);北京市科技新星计划(2007A024);国家重点基础研究发展(973)计划(2010CB327704)

年　　份：2012

卷　　号：33

期　　号：8

起止页码：1375-1380

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：20124315599796)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：作为晶体硅太阳电池制作的心脏环节,扩散的效果也就是扩散后方块电阻的均匀性显得尤为重要。影响方块电阻均匀性的主要因素有:大小氮的流量、O2的流量、通源时间、再分布时间和中心温度。通过逐一改变这些因素,分析所得数据,得到一个能有效控制方块电阻大小、使方块电阻均匀性达到最佳的规律:大小氮流量的变化共同影响方块电阻均匀性;方块电阻大小的改变主要靠温度、时间、小氮的流量的改变来调节。通过以上实验规律的研究,便于常规工艺的调试和高方块电阻工艺中高方块电阻的制备和极差的优化。

关 键 词：扩散工艺  通源时间  再分布时间  方块电阻 均匀性

分 类 号：TM914.4]