期刊文章详细信息
硅各向异性腐蚀技术
Brief Discussion on the Technique of Different Erosion in Different Direction of Sillicon
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]黑龙江商学院电子工程系,黑龙江哈尔滨150076 [2]黑龙江计算机总公司,黑龙江哈尔滨150001 [3]黑龙江省计划生育信息中心,黑龙江哈尔滨150001
年 份：2000
卷 号：16
期 号：2
起止页码：22-27
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：论述了硅各向异性腐蚀技术在国内外的水平和友展趋势，攻关成果的推广应用前景。
关 键 词：硅 各向异性腐蚀 硅杯结构 发展趋势
分 类 号：TN304.12]
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