期刊文章详细信息
球形硅微粉的制备现状
Current Status of Preparation of Spherical Silica Powder
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]桂林理工大学有色金属及材料加工新技术教育部重点实验室,广西桂林541004
年 份：2012
卷 号：26
期 号：6
起止页码：427-431
语 种：中文
收录情况：CAS、JST、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍了球形硅微粉的制备方法 (火焰法、高温熔融喷射法、等离子体法、气相法、溶胶-凝胶法、沉淀法、微乳液法等),并提出了制备过程中存在的问题及解决办法。
关 键 词：球形硅微粉 集成电路 四氯化硅 甲基三氯硅烷 正硅酸乙酯 硅酸钠
分 类 号：TQ127.2]
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