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晶硅片切割液聚乙二醇的酯化工艺研究
Research on Esterification Process of Polyethylene Glycol as Silicon Wafers Cutting Liquid
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河南新大新材料股份有限公司,河南开封475000
年 份：2013
卷 号：42
期 号：9
起止页码：1225-1227
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：利用晶硅片切割废液聚乙二醇,通过酯化反应合成出了无毒环保型增塑剂聚乙二醇双苯甲酸酯。研究了酯化合成反应的工艺条件,对合成出的聚乙二醇双苯甲酸酯性能与邻苯二甲酸二辛脂做了对比,对合成工艺的影响因素进行了探讨。该方法将晶硅片切割废液进行处理资源化处理,合成出的增塑剂具有无毒环保的特点,符合当前社会发展趋势,具有广阔的应用前景。
关 键 词：切割液 聚乙二醇 酯化工艺 研究
分 类 号：TQ314]
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