文献类型：期刊文章

作　　者：李鹏鹏[1] 李军[1] 王建彬[1] 夏磊[1] 朱永伟[1] 左敦稳[1]

机构地区：[1]南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室,南京210016

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：国家自然科学基金(51175260,50905086);中央高校基本科研业务专项资金(NP2012506,NS2013055);江苏省高校优势学科建设工程助项目

年　　份：2013

卷　　号：42

期　　号：11

起止页码：2258-2264

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20140117158311)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为获得高材料去除率和优表面质量的蓝宝石衬底,采用固结磨料研磨蓝宝石衬底提高加工效率,研究研磨压强、工作台转速、三乙醇胺(TEA)浓度和研磨垫类型四个因素对材料去除率和表面粗糙度的影响,并综合优化获得高材料去除率和优表面质量的工艺参数。结果表明:有图案的研磨垫、研磨压强为100 kPa、工作台转速为120 r/min、三乙醇胺的浓度为5%为最优研磨工艺参数组合,固结磨料研磨蓝宝石的材料去除率为31.1μm/min,表面粗糙度为0.309μm。

关 键 词：固结磨料  研磨 蓝宝石衬底 材料去除率 表面粗糙度

分 类 号：TH161] TG741]