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期刊文章详细信息

射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究  ( EI收录 SCI收录)  

PLASMA DIAGNOSIS OF RF DISCHARGE BY USING IMPEDANCE MEASUREMENT

  

文献类型:期刊文章

作  者:黄建军[1] 余建华[2] D.Teuner[3]

机构地区:[1]深圳大学理学院实验中心,深圳518060 [2]深圳大学光电子系,深圳518060 [3]德国鲁尔大学电子工程与信息技术系

出  处:《物理学报》

基  金:广东省自然科学基金 (批准号 :980 92 2 )资助的课题~~

年  份:2001

卷  号:50

期  号:12

起止页码:2403-2407

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI(收录号:WOS:000172679200022)、SCI-EXPANDED(收录号:WOS:000172679200022)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘  要:利用自行研制的传感器和测量装置 ,通过对射频放电电压、电流以及其相位角的精确测定 ,算出放电管的总阻抗 ,结合放电管的等效电路模型与Godyak等建立的射频放电模型 ,对射频激励铜离子激光管在氦气中的放电特性进行了研究 ,得出射频激励铜离子激光器不同气压及电流密度下的等离子体电阻、容抗。

关 键 词:射频放电 阻抗测量 等离子体诊断 电阻  容抗 电子密度

分 类 号:O536] TL65[物理学类]

参考文献:

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引证文献:

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同被引文献:

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