文献类型：期刊文章

作　　者：刘光诒[1] 夏善红[1] 吕永积[2] 陈绍凤[1] 李宏彦[3] 罗运良[4] 王建英

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室 [2]广播电影电视部广播科学研究院光电研究所电子器件研究室,北京102206 [3]BOE光电子器件与材料研究所,北京100016 [4]北京三信时代信息公司,北京100091

出　　处：《液晶与显示》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(69871029;69971011)

年　　份：2001

卷　　号：16

期　　号：4

起止页码：294-299

语　　种：中文

收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EBSCO、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：提出并研制出一种新型平板式全玻璃真空荧光光源（ＶＦＬＳ）管，与国际上传统的真空荧光光源管比较，新的器件在大面积碳场发射阴极，厚膜管结构和制造工艺等方面是新颖的。从真空荧光光源管内的工作原理出发，分析了该器件工作时管内发生的主要物理过程，详细介绍了研制ＶＦＬＳ管的制造工艺，并讨论了此工作目前存在的问题及前景。

关 键 词：真空微电子学 全玻璃平板型真空荧光光源  工艺  VFLS管  

分 类 号：TN105.2] TN873.95