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倾角传感器的温度补偿研究
Research of temperature compensation of inclination sensor
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001
年 份：2014
卷 号：33
期 号：10
起止页码：14-16
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2013_2014、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：半导体元件参数随温度变化而产生的温度漂移,将导致倾角传感器本身存在测量偏差,影响倾角测量的准确度.介绍了一种温度补偿方法,对基于加速度原理的差分电容式倾角传感器进行了温度补偿.经过试验验证结果表明：这种方法能够实现倾角传感器的温度补偿,在-55～ 85℃温度范围内可将倾角传感器的温漂降低1个数量级,有效地减少了环境温度对倾角传感器性能的影响.
关 键 词：倾角传感器 加速度 温度补偿
分 类 号：TP212]
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