文献类型：期刊文章

作　　者：刘李辉[1] 龙吟[2] 曹芬[1,3] 刘文智[1] 房勇[1] 刘文广[3]

机构地区：[1]西北核技术研究所,陕西西安710024 [2]中国人民解放军乌鲁木齐总医院,新疆乌鲁木齐830000 [3]国防科技大学,湖南长沙410073

出　　处：《中国激光》

年　　份：2015

卷　　号：42

期　　号：10

起止页码：248-258

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20154801632048)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：围绕未来固态大功率激光系统中低阶像差补偿的需求,开展了边缘驱动变形反射镜的优化设计和仿真分析。提出了4臂边缘驱动变形镜设计结构,并建立了仿真模型,以变形镜拟合残差面形的均方根(RMS)值和峰-谷(PV)值为目标,分析了不同结构参数对变形镜校正低阶像差能力的影响。根据对离焦、像散和彗差校正拟合残差面形的RMS值和PV值随结构参数变化的曲线,确定了变形镜的最佳设计参数并给出了该参数下拟合离焦、像散和彗差的残差面形RMS值和PV值。对于PV值分别为20、10、10μm的离焦、像散和彗差,拟合残差面形RMS值和PV值分别为0.2366μm和1.3762μm、0.0112μm和0.1146μm以及0.1606μm和0.9773μm。以上结果表明,设计的4臂边缘驱动变形镜的校正效果符合设计要求。

关 键 词：自适应光学 边缘驱动变形镜  低阶像差  仿真模拟

分 类 号：O436]