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晶硅片切割废砂浆中碳化硅的旋流工艺研究
Study on hydrocyclone technology of silicon carbide from cutting waste slurry of silicon wafe
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]河南新大新材料股份有限公司,河南开封475000 [2]河南大学化学化工学院
年 份：2015
卷 号：47
期 号：11
起止页码：60-62
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：以羧甲基纤维素钠为分散剂,采用旋流法分离废砂浆中的碳化硅和硅粉,研究了固液比、温度、入口速度、分散剂的用量对分离效果的影响。结果表明,当固液比(料饼与水质量比)为15%、温度为50℃、入口速度为12.5 m/s、羧甲基纤维素钠加入量(质量分数)为0.6‰时分离效果最佳,在此条件下回收的碳化硅纯度为96.5%。该研究达到了分离碳化硅和硅粉的目的,同时减少了后续工艺辅料酸碱的应用,降低了对环境的污染。
关 键 词：废砂浆 旋流 分散剂 碳化硅 硅粉
分 类 号：TQ127.2]
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