期刊文章详细信息
一种基于光电极值法的光学膜厚监控系统的改进设计
A KIND OF IMPROVE DESIGN FOR SYSTEM OF OPTICAL THIN-FILM THICKNESS MONITORING CONTROL BASED ON THE METHOD OF PHOTOELECTRICITY LIMITING VALUE
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安工业学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西710032
年 份：2002
卷 号：23
期 号：4
起止页码：30-32
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：介绍目前通用的基于光电极值法的光学膜厚监控系统的特点 ,针对其缺点进行改进设计 ,新系统的稳定性有较大提高 ,可满足镀制多层介质薄膜器件的要求。
关 键 词：系统设计 光学薄膜 光学膜厚控制系统 光电极值法
分 类 号：O484.5] TP277[物理学类]
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