文献类型：期刊文章

作　　者：王文清[1] 王晓璐[2] 田子建[2]

机构地区：[1]北京市煤炭矿用机电设备技术开发有限公司,北京100042 [2]中国矿业大学(北京)机电与信息工程学院,北京100083

出　　处：《工矿自动化》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(U1261125);北京市教育委员会创新团队建设提升计划资助项目(IDHT20130511)

年　　份：2016

卷　　号：42

期　　号：2

起止页码：34-38

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、IC、INSPEC、JST、RCCSE、UPD、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种新型的基于微环谐振器的甲烷传感器。该传感器通过微环表层的穴番A涂层来增加微环的有效折射率,使微环谐振器中谐振波长随甲烷浓度的增加而向右漂移;通过测量输出光信号的谐振波长推算出甲烷浓度。理论分析结果表明,该传感器的谐振波长变化范围在一个自由光谱范围内,甲烷浓度测量范围为0~15%;对比SOI材料和聚合物材料、单面敏感膜和三面敏感膜的测量结果,得出聚合物材料三面敏感膜微环的谐振波长变化幅度较大,测量灵敏度为60pm。

关 键 词：甲烷传感器 甲烷浓度测量  微环谐振器 敏感膜

分 类 号：TD712.55]