文献类型：期刊文章

作　　者：陆惠宗[1,2] 屠明亮[3] 纪晨东[2] 董超[2] 袁巨龙[1]

机构地区：[1]浙江工业大学超精密加工研究中心,浙江310014 [2]无锡迈福光学科技有限公司,江苏204200 [3]绍兴职业技术学院,浙江312000

出　　处：《仪器仪表学报》

基　　金：浙江省科技厅公益技术应用研究(2015C31053)项目资助

年　　份：2016

卷　　号：37

期　　号：2

起止页码：461-466

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20161502242466)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：非接触式纳米精度位移测量在科研和工业生产中有重要应用价值。本文阐述了一种基于激光聚焦偏移原理测量微小位移的方法,首先分析了此方法的测量精度、误差及在所选光学元器件下的量程,进而描述了实验装置,并利用该装置对一个平面反射镜的微小位移进行了测量,结果显示位移测量精度优于10 nm(1σ),与理论计算的结果吻合。实验结果表明,该方法对测量微小位移可达nm精度,可应用于工业生产中对主轴振动、轴承球圆度等的在线精密测量。

关 键 词：微小位移  激光聚焦偏移  空间滤波 测量精度  长期稳定性  

分 类 号：TH74]