文献类型：期刊文章

作　　者：李刘合[1] 刘红涛[1] 罗辑[1] 许亿[1]

机构地区：[1]北京航空航天大学机械工程及自动化学院材料加工与控制系,北京100191

出　　处：《物理学报》

基　　金：国家自然科学基金(批准号:11275020);国家科技重大专项(批准号:2014zx04012012)资助的课题~~

年　　份：2016

卷　　号：65

期　　号：6

起止页码：233-241

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20161602262658)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000380354000030)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：采用大尺寸矩形石墨靶作为真空阴极电弧源,研制了带状真空电弧磁过滤器.使用法拉第杯和朗缪尔探针对90?弯曲磁过滤器中的带状等离子体出口所在平面的15个区域的离子能量和密度进行了测试;用该带状真空电弧磁过滤器制备了类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC);对相应位置上的类金刚石膜进行了Raman分析和膜厚测量.结果表明:磁过滤器出口所在平面的15个划分区域中离子能量分布接近麦克斯韦分布,离子能量分布与类金刚石膜的结构具有明显的对应特征,离子密度分布与DLC膜膜厚分布相互之间具有相关性.

关 键 词：离子能量 离子密度 类金刚石膜 拉曼光谱

分 类 号：O53]