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基片温度对直流反应磁控溅射法制备氧化钨电致变色材料循环寿命的影响
Influence of Substrate Temperatures on the Cyclic Life of Electrochromic Tungsten Oxide(WO_3) Films Deposited by Reaction DC Magnetron Sputtering
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]武汉理工大学,硅酸盐建筑材料国家重点实验室,武汉430070 [2]江苏秀强玻璃工艺股份有限公司,宿迁223800
基 金:湖北省重大科技创新计划项目(2013AAA005)
年 份:2016
卷 号:35
期 号:6
起止页码:1847-1850
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要:通过选取室温、100℃、200℃三个不同基片温度制度来探讨基片温度对氧化钨薄膜电致变色循环寿命的影响。实验结果表明:当基片温度由室温提高至100℃后,氧化钨薄膜的循环寿命有较大的改善,循环次数由806次提高至3000次。当基片温度由100℃提高至200℃时,循环寿命反而有所衰退,循环次数由3000次减少至1000次。
关 键 词:直流反应溅射 氧化钨薄膜 基片温度 循环寿命 光学调制幅度
分 类 号:O484]
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