文献类型：期刊文章

作　　者：高金海[1,2] 李桢[1] 张武勤[1] 张兵临[2]

机构地区：[1]郑州师范学院物理系,河南郑州450044 [2]郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南郑州450052

出　　处：《电子器件》

基　　金：教育部科学技术重点项目(205091);河南省科学技术成果项目(教高豫科鉴委字[2015]第569号);河南省高等学校重点科研项目(16A140039)

年　　份：2017

卷　　号：40

期　　号：1

起止页码：11-15

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：通过改变处理衬底表面的方法,制备出不同的微米金刚石薄膜。具体的方法是利用磁控溅射在陶瓷衬底上面镀上一层厚金属钛,对金属钛层进行不同的表面处理后,放在微波等离子体化学气相沉积腔中制备微米金刚石薄膜。对不同的薄膜用二极管型结构测试了它们的场致发射电子的性能,良好的表面处理能达到在电场2.1 V/μm下,9.2 m A/cm^2优秀的发射效果。并对发射机理和场发射特性进行了深入的研究。

关 键 词：微米金刚石  薄膜制备  场致发射电子  微波等离子体化学气相沉积

分 类 号：TB383[材料类] O484]