期刊文章详细信息
碳化硅材料及器件的制造装备发展现状
Current Situation for Manufacture Equipment of SiC Material and Devices
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中电科电子装备集团有限公司,北京100070 [2]北京生产力促进中心,北京100088 [3]中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176
年 份：2017
卷 号：38
期 号：4
起止页码：190-192
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：当前碳化硅产业的快速发展对装备国产化提出了更高的要求,迫切需要通过借鉴国外先进技术,进行产学研结合的协同创新,全面提升研发、制造能力,满足市场要求,推动我国宽禁带半导体产业的自主可控发展。对当前碳化硅材料及器件制造装备的国内外现状、主要技术难点进行了综述,并对其发展趋势进行了展望。
关 键 词：碳化硅 制造装备 宽禁带半导体
分 类 号：TN3]
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