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期刊文章详细信息

基于激光干涉技术的大尺寸绝对测量方法的研究    

Research on Large Size Absolute Measurement Method Based on Laser Interference Technology

  

文献类型:期刊文章

作  者:刘红光[1] 路瑞军[1] 崔尧尧[1] 冉勇[1] 李凌梅[1] 马艺清[1]

机构地区:[1]天津市计量监督检测科学研究院,天津300192

出  处:《测控技术》

基  金:天津市市场和质量监督管理委员会2016年度科技项目(2016-W01)

年  份:2018

卷  号:37

期  号:1

起止页码:107-109

语  种:中文

收录情况:CSCD、CSCD_E2017_2018、JST、ZGKJHX、普通刊

摘  要:大型工件在制造过程中,面临着各式各样的检测任务,大尺寸测量技术成为现代测试技术的一个越来越重要的分支,为提高大尺寸工件静态几何量的检测精度,将激光干涉仪与传统测长机相结合,提出两种基于激光干涉技术的大尺寸高精度的绝对测量方法。通过对两种测量方法的不确定度理论分析和实验比对,验证方法的准确度和可行性。一方面激光干涉仪传统的动态测量转换为高精度的静态量检测,拓展了激光干涉仪的应用领域,同时弥补了测长机在绝对测量能力方面的不足,提高了测长机的测量精度和检测效率。

关 键 词:测长机 激光干涉仪 绝对测量 大尺寸测量 不确定度

分 类 号:TB92]

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