文献类型：期刊文章

作　　者：林冬冬[1,2] 胡明勇[3] 李金鹏[4] 丁耀芳[4]

Lin Dongdong1,2, Hu Mingyong3, Li Jinpeng4, Ding Yaofang4(1 University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China ; 2 Nanjing Research Centre of Astronomical Instruments, Chinese Academy of Sciences, Nanjing, Jiangsu 210042, China 3Academy of Photoelectric Technology, Hefei University of Technology, Hefei, Anhui 230009, China ; 4 CAS NanjingAstronomical Instruments Co., Ltd, Nanjing, Jiangsu 210042, Chin)

机构地区：[1]中国科学院大学,北京100049 [2]中国科学院南京天文仪器研制中心,江苏南京210042 [3]合肥工业大学光电技术研究院,安徽合肥230009 [4]中科院南京天文仪器有限公司,江苏南京210042

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：江苏省自然科学基金青年基金(BK20160154)

年　　份：2018

卷　　号：55

期　　号：3

起止页码：308-314

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSCD、CSCD2017_2018、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了提升大F数下瑞奇-康芒检验的面形恢复精度,提出局部采样影响矩阵法,对干涉仪采集到的压缩椭圆图样按各像素点实际入射角大小分别建立影响矩阵,恢复像素点的面形偏差。通过该方法遍历整个平面镜镜面,得到平面镜面形。利用仿真验证了局部采样影响矩阵法的精度并和传统影响矩阵法进行详细对比,结果表明相较传统影响矩阵法,局部采样影响矩阵法在离焦、像散、三级彗差、三级像散、三级球差等因素下的精度提升十分明显,证明局部采样影响矩阵法更适合瑞奇-康芒检验的面形恢复。

关 键 词：测量  瑞奇-康芒检验  大口径平面镜  影响矩阵 干涉测量  

分 类 号：O436]