文献类型：期刊文章

作　　者：王从思[1] 殷蕾[2] 李飞[1] 应康[1] 张轶群[3] 王猛[4]

WANG Congsi;YIN Lei;LI Fei;YING Kang;ZHANG Yiqun;WANG Meng(Key Laboratory of Electronic Equipment Structure Design, Ministry of Education, Xidian University, Xi＇an 710071, China;Xi＇an Research Institute of Huawei Technologies, Xi＇an 710075, China;Nanjing Research Institute of Electronics Technology, Nanjing 210039, China;Shaanxi Huanghe Group Co., Ltd., Xi＇an 710043, China)

机构地区：[1]西安电子科技大学电子装备结构设计教育部重点实验室,西安710071 [2]西安华为技术有限公司,西安710075 [3]南京电子技术研究所,南京210039 [4]陕西黄河集团有限公司,西安710043

出　　处：《电子与信息学报》

基　　金：国家自然科学基金(51522507;51475349;51490660);国家973计划项目(2015CB857100);陕西省青年科技新星计划(2016KJXX-06);中央高校基本科研业务费专项资金(JBG150409;KJXX1603;7214479606)~~

年　　份：2018

卷　　号：40

期　　号：6

起止页码：1484-1491

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2017_2018、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：移相器是控制相控阵天线空间波束捷变的"方向盘",其性能的优良决定着相控阵天线性能的高低。微机电系统(MEMS)移相器优势明显,但由于相控阵天线工作环境复杂,环境载荷会导致MEMS移相器结构变形,进而直接降低整个相控阵天线的性能。为此,该文研究MEMS移相器关键结构参数和电性能之间的耦合关系,将复杂环境要素对物理结构的影响传递到结构参数和电参数上,推导出分布式MEMS移相器的机电集成模型,并利用集成模型对变形MEMS移相器进行电性能快速评估和结构公差计算。仿真结果说明了集成模型的有效性和工程应用价值。

关 键 词：相控阵天线 分布式MEMS移相器  结构变形  机电耦合

分 类 号：TN821] TP212]