期刊文章详细信息
高能离子注入机离子能量计算方法研究
Research on Energy Calculation Method for High Energy Implanter
文献类型：期刊文章
ZHANG Cong;ZHUO Zuliang;WU Wenjie(Beijing Zhongkexin Electronics Equipment Co. Ltd., Beijing 101111, China)
机构地区：[1]北京中科信电子装备有限公司,北京101111
年 份：2018
卷 号：39
期 号：3
起止页码：160-162
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：主流高能离子注入机基于RF加速结构实现高能离子加速,其离子能量的计算较为复杂。描述了一种基于RF加速结构的高能离子注入机中离子能量的计算方法。该方法基于RF加速原理,使用加速结构的静电场计算数据近似瞬时加速电场,通过简单数值方法实现离子能量快速计算。计算结果与实验结果和设备标称参数的对比显示,该方法计算精度能够满足指导设备调试的要求。
关 键 词：离子注入机 离子能量 射频
分 类 号：TN60]
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