期刊文章详细信息
MOCVD设备与现代MOCVD技术研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]厦门市三安光电科技有限公司,福建厦门361000
年 份：2018
期 号：22
起止页码：127-127
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：MOCVD,即金属有机物化学气相沉积法、金属有机物气相外延生长,是一种制备化合物半导体薄层的方法,应用于多个领域,如太阳能电池、半导体激光器、LED等。现有的MOCVD设备主要依赖进口,成本较高,因此MOCVD设备的研究对国防高端技术、新能源领域都很有必要。文章简单分析了MOCVD设备以及MOCVD技术。
关 键 词：MOCVD设备 MOCVD技术 反应腔
分 类 号：TN304.055]
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