期刊文章详细信息
洁净厂房内气体管道的技术措施
The technical practice for high-punty gas piping system in eleanroom
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国航天建筑设计研究院
年 份：2002
期 号：3
起止页码：38-45
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：内容涉及洁净厂房内高纯气体系统的管道合理设计,正确施工安装及科学运行管理等技术措施。
关 键 词：洁净厂房 气体管道 强度 试验
分 类 号：TU831]
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