期刊文章详细信息
薄膜测量的椭偏仪法
Thin Films Measuring with Ellipsometry
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]唐山师范学院国有资产管理处,河北唐山063000 [2]河北师范大学数学系,河北石家庄050051
年 份：2002
卷 号：24
期 号：5
起止页码：67-68
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：简述了椭偏法测量薄膜厚度的物理原理,分析了其系统误差。
关 键 词：薄膜测量 椭偏义法 厚度测量 测量原理 系统误差 起偏器 检偏器
分 类 号：O484.5] O432.2[物理学类]
参考文献：
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