文献类型：期刊文章

作　　者：肖程[1,2] 陈志斌[1,2] 秦梦泽[1] 张冬晓[1]

XIAO Cheng;CHEN Zhi-bin;QIN Meng-ze;ZHANG Dong-xiao(Department of Electronic and Optical Engineering,Shijiazhuang Campus of Army Engineering University,Shijiazhuang 050003,China;63908troops of the PLA,Shijiazhuang 050003,China)

机构地区：[1]陆军工程大学石家庄校区电子与光学工程系 [2]中国人民解放军63908部队

出　　处：《中国光学》

基　　金：国防科技项目基金(No.2004053)~~

年　　份：2019

卷　　号：12

期　　号：1

起止页码：59-74

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：当前微流控表面增强拉曼散射(SERS)检测领域常用的贵金属纳米颗粒溶胶单位体积内热点区域数量有限且热点区域范围较小,而贵金属纳米三维阵列结构加工时间长,成本高昂并存在"记忆效应"。本文提出了集成到微流道的复合Ag/SiO_2正弦光栅SERS基底结构,可以利用激光干涉光刻技术进行制备,无需预制掩膜版,可实现大面积、低成本SERS基底简易快速制备。利用严格耦合波分析方法(RCWA)建立了复合正弦光栅表面电场增强数学评估模型,推导了表面等离子体共振(SPP)耦合吸收率数学模型,分析了入射光、复合正弦光栅结构与外界环境介电常数的优化匹配关系,得到了入射光785 nm条件下的最佳复合正弦光栅结构。通过制备加工并实验验证了复合正弦光栅的SERS性能,SERS增强因子(EF)能够达到10~4。

关 键 词：RCWA  复合正弦光栅  SERS 微流控

分 类 号：TN305.7]