文献类型：期刊文章

作　　者：叶向荣[1,2] 刘华平[3] 黄明星[3] 钟军[3] 张坚文[3] 王树华[3] 陈刚[1]

YE Xiangrong;LIU Huaping;HUANG Mingxing;ZHONG Jun;ZHANG Jianwen;WANG Shuhua;CHEN Gang(Zhejiang Britech.Co.,Ltd.,Quzhou 324004,China;Key Laboratory of Advanced Catalysis Materials of Ministry of Education,Zhejiang Normal University,Jinhua 321004,China;Quzhou Fluoride and Silicon Technology Research Institute,Quzhou 324004,China)

机构地区：[1]浙江博瑞电子科技有限公司,浙江衢州324004 [2]浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室,浙江金华321004 [3]衢州氟硅技术研究院,浙江衢州324004

出　　处：《低温与特气》

基　　金：国家重点研发计划项目课题(2017YFB0405801)

年　　份：2019

卷　　号：37

期　　号：1

起止页码：34-39

语　　种：中文

收录情况：CAS、CSA、CSA-PROQEUST、普通刊

摘　　要：报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。

关 键 词：纯化材料  纯化器 氯化氢 深度除水  吸附滞留  

分 类 号：TQ117]