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底部保温结构对大尺寸蓝宝石晶体生长影响的数值模拟及实验研究 ( EI收录)
Simulation and Experimental Research on the Effect of Bottom Shield Structure on the Large-size Sapphire Crystal Growth
文献类型:期刊文章
YU Haiqun(Zhejiang Yunfeng New Material Technology Co.,Ltd.,Jinhua 321015;Shanghai Yunfeng Optoelectronictech Co.,Ltd.,Shanghai 201201)
机构地区:[1]浙江昀丰新材料科技股份有限公司 [2]上海昀丰光电技术有限公司
年 份:2019
卷 号:33
期 号:A01
起止页码:37-40
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、ZGKJHX、核心刊
摘 要:底部保温结构决定了坩埚底部径向温差的大小,底部径向温差的大小决定了晶体收尾生长的形态,合适的底部径向温差可以保证良好的晶体收尾生长,抑制界面翻转。利用CFD软件模拟底部保温结构对长晶功率、坩埚底部径向温差及界面凸出度的影响。结果表明,利用分体式底部保温结构,在扩肩及收尾阶段均可以获得最小的长晶功率、最大的底部径向温差、最大的晶体界面凸出度。依据优化的结果,采用分体式底部保温结构进行长晶实验,生长出的晶体底部表面呈现年轮状,晶体品质良好。
关 键 词:蓝宝石 保温屏 数值模拟 实验研究
分 类 号:O78]
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