文献类型：期刊文章

作　　者：王瑞荣[1]

WANG Ruirong(Department of Electronic Engineering,Taiyuan Institute of Technology,Taiyuan 030008,China)

机构地区：[1]太原工业学院电子工程系

出　　处：《电子元件与材料》

基　　金：山西省重点研发计划项目(201803D121069);太原工业学院院级青年科学基金资助(2018LG02)

年　　份：2019

卷　　号：38

期　　号：8

起止页码：72-75

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2017、CAS、CSCD、CSCD_E2019_2020、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种以石墨烯/PDMS为介质层的柔性压力传感器,主要介绍了石墨烯/PDMS介质层和柔性压力传感器的制备方法,研究了石墨烯浓度和石墨烯/PDMS介质层厚度对传感器灵敏度的影响.利用压力机和阻抗分析仪对柔性压力传感器进行了测试,结果表明柔性压力传感器有大的工作范围(0~20 kPa)和高的灵敏度(在0~3 kPa的灵敏度为0.3 kPa^-1,3~8 kPa的灵敏度为0.06 kPa^-1,8~20 kPa的灵敏度为0.017 kPa^-1);同时传感器的可恢复性和重复性能良好,可灵敏地检测手指的弯曲,在机器人皮肤和智能穿戴领域有着广阔的应用前景.

关 键 词：柔性压力传感器  石墨烯/PDMS  电容式 MEMS 灵敏度

分 类 号：TP212.1]