文献类型：期刊文章

作　　者：高旭[1] 李舒航[1] 马庆林[1] 陈伟[2]

GAO Xu;LI Shu-Hang;MA Qing-lin;CHEN Wei(Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China)

机构地区：[1]长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022 [2]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033

出　　处：《中国光学》

基　　金：国家自然科学基金(No.51505078);吉林省科技厅优秀青年人才基金(No.20180520187JH);吉林省教育厅“十三五”科学技术项目基金(No.JJKH20190544KJ);中国博士后面上基金(No.2018M641778)~~

年　　份：2019

卷　　号：12

期　　号：4

起止页码：741-752

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2017、CAS、CSA、CSCD、CSCD2019_2020、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：精密测量是精密机械加工的基础,是制造行业中影响制造精度的决定性因素之一,在当代精密机械制造领域应用广泛。基于光栅的精密位移测量系统以其对环境要求小,测量分辨率高等优点,在精密位移测量领域占据重要位置。基于光栅的精密位移测量系统包括光学测量系统、信号接收、电子学细分及整体装调几部分。本文主要针对光学测量光路部分进行综述介绍。首先介绍了经典光栅干涉位移测量原理;其次,综述了基于光栅的精密位移测量系统的关键技术现状;再次,对比分析了几种最具有代表性的测量技术,总结其优缺点;最后,对基于光栅的精密位移测量技术进行展望,揭示其高精度、高分辨力、高鲁棒性、微型化、多维化、多技术融合的发展趋势。

关 键 词：位移测量  光栅 高精度测量  衍射干涉  

分 类 号：TP29]