期刊文章详细信息
大气下火焰法合成金刚石薄膜
SYNTHESIS OF DIAMOND FILM BY COMBUSTION FLAME IN ATMOSPHERE
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部郑州磨料磨具磨削研究所
基 金：国家自然科学基金;58972105
年 份：1992
卷 号：6
期 号：1
起止页码：52-55
语 种：中文
收录情况：CSCD、CSCD2011_2012、普通刊
摘 要：本文介绍了用氧-乙炔火焰法在大气下合成金刚石薄膜的实验结果,初步研究了基板温度对金刚石晶体生长速度、结晶习性的影响,指出了在金刚石(111)及(100)晶面上外延单晶金刚石膜的温度范围,还探讨了氧对薄膜的质量均匀性的影响。
关 键 词：火焰法 金刚石薄膜 合成
分 类 号：TN304.18]
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