文献类型：期刊文章

作　　者：王志秀[1] 杨兵超[2] 易文才[2]

Wang Zhixiu;Yang Bingchao;Yi Wencai(Experimental Teaching and Equipment Management Center,Qufu Normal University,Qufu 273165,China;School of Physics and Physical Engineering,Qufu Normal University,Qufu 273165,China)

机构地区：[1]曲阜师范大学实验教学与设备管理中心,曲阜273165 [2]曲阜师范大学物理工程学院,曲阜273165

出　　处：《分析仪器》

基　　金：山东省自然科学基金博士项目(ZR2019BA010)。

年　　份：2020

期　　号：1

起止页码：100-105

语　　种：中文

收录情况：CAS、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊

摘　　要：主要介绍了扫描电镜的组成部分、工作原理及对扫描电镜的日常维护工作。并以ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜为例,结合扫描电镜的操作步骤,讨论了影响扫描电镜图像质量的主要因素及操作技巧。

关 键 词：场发射扫描电镜  图像质量 维护  

分 类 号：TN16]