文献类型：期刊文章

作　　者：刘建飞[1] 周志豪[1] 吴丽琼[1] 黄建烽[1]

LIU Jian-fei;ZHOU Zhi-hao;WU Li-qiong;HUANG Jian-feng(Fujian Jingan Optoelectronics Co.,Ltd.,Quanzhou 362411,China)

机构地区：[1]福建晶安光电有限公司,福建泉州362411

出　　处：《工业技术创新》

年　　份：2020

卷　　号：7

期　　号：3

起止页码：52-56

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：蓝宝石衬底在实际量产中,约10%~15%会产生表面缺陷,导致成品返工或报废,经济损失较大。分析实际量产作业中设备与工艺过程,探究和比较刮伤、坑洞、气泡、颗粒、崩角、色差共6种表面缺陷的失效模式,提出了技术和工艺改善措施。在检测方式上,对比了接触式及非接触式检测工具与原理,探讨了各自的分辨率与呈现方式,为得到更有效的改善技术和工艺奠定了基础。过程改进后,量产作业表面缺陷占比降低至5%~8%。若要实现更低的表面缺陷占比,需进一步改良工艺过程和机台硬件配置。

关 键 词：蓝宝石衬底 表面缺陷  量产 失效模式 接触式检测  非接触式检测  

分 类 号：O77]