文献类型：期刊文章

作　　者：吴丽琼[1] 周志豪[1] 刘建飞[1] 戴坤森[1] 李鹏[1] 陈辉煌[1]

WU Li-qiong;ZHOU Zhi-hao;LIU Jian-fei;DAI Kun-sen;LI Peng;CHEN Hui-huang(Fujian Jing'an Optoelectronics Co.,Ltd.,Quanzhou 362411,China)

机构地区：[1]福建晶安光电有限公司,泉州362411

出　　处：《价值工程》

年　　份：2020

卷　　号：39

期　　号：22

起止页码：203-204

语　　种：中文

收录情况：普通刊

摘　　要：Ⅲ-Ⅴ族GaN基材料和器件的外延层选择生长在蓝宝石衬底上,主要是蓝宝石衬底具有高稳定性,其生产技术成熟以及机械强度高,易于处理和清洗等优点,该行业已进入大尺寸量产及高精度制造的品质要求,故蓝宝石衬底应用到自动化检验设备是必然发展的趋势。自动化检测技术满足了蓝宝石衬底的广泛检测项目和要求,为衬底制造业的品质和效率作保障。本文介绍蓝宝石衬底应用自动化检测技术,探讨检测技术与自动化装置在制造业上的作用意义,以及自动化检测分类应用。

关 键 词：蓝宝石衬底 检测技术  自动化

分 类 号：TN247]