期刊文章详细信息
硅铝酸盐分子筛对HCl电子气体的深度除水性能研究
Deep dehydration of electronic grade HCl gas by aluminosilicate molecular sieves
文献类型:期刊文章
YE Xiang-rong;ZHANG Guang-di;YE Su-fang;XIA Tian;ZHOU Jing-sen;ZHANG Yun-feng;LIAO Jin;LIU Jun-ming(Zhejiang Britech Co.,Ltd.,Quzhou 324004,China;Key Laboratory for Advanced Catalysis Materials of The Ministry of Education,Zhejiang Normal University,Jinhua 321004,China;Jinhua Polytechnic,Jinhua 321007,China)
机构地区:[1]浙江博瑞电子科技有限公司,浙江衢州324004 [2]浙江师范大学先进催化材料教育部重点实验室,浙江金华321004 [3]金华职业技术学院,浙江金华321007
基 金:国家重点研发计划课题(2017YFB04055801)。
年 份:2021
卷 号:41
期 号:1
起止页码:103-107
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2020、CAS、CSCD、CSCD_E2021_2022、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:耐HCl和水协同腐蚀、低二次杂质释出是吸附材料用于HCl电子气体深度除水的先决条件。在考察了一系列工业化硅铝酸盐分子筛的耐蚀性、杂质释出和真实HCl电子气体环境下的深度除水性能后证实,硅铝酸盐分子筛的耐蚀性和除水性能与硅铝摩尔比(SiO_(2)/Al_(2)O_(3)摩尔比)密切相关。硅铝摩尔比为2的分子筛耐蚀性较差,硅铝摩尔比为16~360的分子筛均具有较好的耐蚀性;硅铝摩尔比介于2~300之间的分子筛可将HCl电子气体中约2μL/L水分脱除至130~200 n L/L,除水效率与速度均随硅铝摩尔比增加呈下降趋势。根据上述规律开发的MS-1分子筛可脱除HCl电子气体中的水分至约160 nL/L,MS-1分子筛经改性后则可将水分除至<100 nL/L,且对HCl中的金属离子无显著影响。
关 键 词:氯化氢 电子气体 硅铝酸盐 分子筛 深度除水
分 类 号:TQ117]
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